NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀，通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面有著多種解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：高分辨無損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀，通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面有著多種解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：高分辨無損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

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